SHINSUNG過濾單元EFU系列技術(shù)參數(shù)
SPECIFICATIONS | |
DIMENSIONS (mm) | 1167W x 572D X 260H with filter |
POWER | 1? - 200~220 V - 50/60Hz BLDC MOTOR |
EXTERNAL STATIC PRES SURE (mmAq) | 0.0 |
PRES SURE (mmAq) | 28.8 Wind Tunnel |
AIR VELOCITY (m/s) | 0.80 Filter media area] |
POWER CONSUMPTION (W) | 183.0 ± 5% |
ELECTRIC CURRENT (A) | 0.876 ± 5% |
Power Factor | 0.95 |
NOISE dB(A) | 61.5 1m under Filter ± 5% |
VIBRATION (mm/s, um) | less than 1.0mm/s on mould bar |
TEST FILTER SPEC. | Initial pressure drop 8.5mmAq at rated air velocity 0.35m/s |
SHINSUNG過濾單元EFU系列介紹
設(shè)備風扇過濾單元（EFU）
在半導體和 FPD 生產(chǎn)設(shè)備的頂部或側(cè)面
安裝它是為了保持設(shè)備內(nèi)部的壓力并提供清潔的空氣，以保持設(shè)備內(nèi)部的清潔。
應用領(lǐng)域
ICR 潔凈室、ME 設(shè)備、腔室
Equipment Fan Filter Unit (EFU)
On top or side of semiconductor and FPD production equipment
It is installed to maintain the pressure inside the equipment and supply clean air to keep the inside of the equipment clean.
Field of application
ICR clean room, ME equipment, chamber
SHINSUNG過濾單元EFU系列其他常用型號：
SHINSUNG EFU5001BL
SHINSUNG EFU320BL
SHINSUNG EFU500OBL
SHINSUNG EFU5000HBL
SHINSUNG EFU321BL
SHINSUNG EFU322BL
SHINSUNG EFU325BL
SHINSUNG EFU326BL
SHINSUNG EFU400BL
SHINSUNG EFU320S-BL
SHINSUNG EFU321S-BL
SHINSUNG EFU-320-BL(D)-ULPA
SHINSUNG Filter Unit NEW + ORIGINAL+ ONE YEAR WARRANTY
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SHINSUNG過濾單元EFU系列EFU-320-BL(D)-ULPA技術(shù)參數(shù)介紹
